真空腔体镀膜设备镀膜机腔体检漏方法

真空腔体镀膜设备镀膜机腔体检漏方法

跟着真空镀膜设备的不断使用,真空镀膜机镀膜机腔体的检漏是必不可少的,真空镀膜机检漏是指在镀膜机内部的不锈钢真空腔体真空下降到必定程度的时分,如0.5 mbar以下的时分,拿氦气喷在怀疑有漏的当地,或许查看规范保养时动到的部位.这时需求有人调查检漏仪的漏率指示值的改变.当漏率上升或漏率值改变剧烈的时分,及时指出漏点所在位置,并做记号.

1.将氦质谱检漏仪HLT560连接到泵组前的检漏口上.

2.发动检漏仪, 检漏仪开始抽取镀膜机腔体中的空气,一起发动镀膜设备的泵组.

3.在镀膜机方形真空腔体腔体内部的真空下降到必定程度(0.5 mbar)以下的时分,,将氦气喷在疑似有漏的当地,或许查看规范保养时动到的部位.这时调查检漏仪的漏率改变.当漏率上升或漏率值改变剧烈的时分,及时标记漏点位置.

4.所有可疑点都检测完成后,关闭检漏仪,停下镀膜机的泵组并将镀膜机腔体打开,将检测出的漏点进行处理(如更换密封圈,清洁等),处理完成后,再按照上述进程查看一遍,直到所有漏点都被清除,检漏进程就完成了.