真空镀膜腔体
主要产品:铝合金真空腔体,真空镀膜腔体,不锈钢真空腔体,方形真空腔体,出售真空炉体价格,PVD系列镀膜机腔体,腔体配套真空管道等系列真空产品.
真空镀膜腔体的检漏是必不可少的,真空镀膜机检漏是指在镀膜机内部的真空下降到必定程度的时分,如0.5 mbar以下的时分,拿氦气喷在怀疑有漏的当地,或许检查标准保养时动到的部位.这时需要有人调查检漏仪的漏率指示值的改变.当漏率上升或漏率值改变剧烈的时分,及时指出漏点所在位置,并做记号.
1.将氦质谱检漏仪HLT560连接到泵组前的检漏口上.
2.启动检漏仪, 检漏仪开始抽取镀膜机腔体中的空气,同时启动镀膜设备的泵组.
3.在镀膜机腔体内部的真空下降到必定程度(0.5 mbar)以下的时分,,将氦气喷在疑似有漏的当地,或许检查标准保养时动到的部位.这时调查检漏仪的漏率改变.当漏率上升或漏率值改变剧烈的时分,及时标记漏点位置.
4.所有可疑点都检测完成后,封闭检漏仪,停下镀膜机的泵组并将镀膜机腔体打开,将检测出的漏点进行处理(如替换密封圈,清洁等),处理完成后,再按照上述过程检查一遍,直到所有漏点都被铲除,检漏过程就完成了.
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可加工长4米*3米真空腔体接连线专业定做高真空,超高真空腔体.
不锈钢真空腔体,铝合金真空腔体的质量取得并经过ISO -9001质量标准系统认证,所有产品均经过真空氦质谱检漏仪出厂