无油涡旋真空泵的特色与应用领域

清洁的真空环境一直是科学家和企业界寻求的抱负真空环境.自可以发明真空环境开始,人们就企图选用不同手段到达清洁真空的效果.时至今日,清洁真空获得设备已经发展到油泵、螺杆泵、活塞泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品.在现有的无油真空泵傍边,无油涡旋真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有下述特色:

①.无油，无摩擦——真空腔内无油，非接触，无磨损，不发生微粒尘土污染，可获得清洁真空；

②.抽气量大——双涡旋盘，结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍，节省能源；

③.抽气效率高——带有3-4个抽气单元，压差小；大气与真空之间由O型圈密封，走漏低；

④.非接触,良好平衡,力矩影响小，噪音低，振荡小；

⑤.结构简单紧凑，相同尺寸下，运动半径小，运行平稳；

⑥.体积小，修理方便，维护费用低；

⑦.选用空气冷却，无需水冷。

目前无油涡旋真空泵的应用领域为:

①.半导体职业——薄膜制备设备、半导体器材封装设备；

②.科学仪器职业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测验仪器；

③.机械设备职业——材料制备设备、真空检测、材料提纯设备；

④.化学工业；

⑤．医疗设备——牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备；

⑥．包装职业——食品、药品、生物制品等包装设备。

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