焊接是真空腔体制造中最重要的环节之一。为避免大气中熔化的金属和氧气产生化学反应从而影响焊接质量,一般选用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷发保护气体氩气,以避免熔化后的高温金属产生氧化反应。
超高真空腔体的氩弧焊接,原则上有必要选用内焊,即焊接面是在真空一侧,以免存在死角而产生虚漏。
真空腔体的内壁外表吸附大量的气体分子或其他有机物,成为影响真空度的放气源。为实现超高真空,要对腔体进行150~250℃的高温烘烤,以促进资料外表和内部的气体赶快放出。烘烤方法有在腔体外壁环绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐子中。比较经济简略的烘烤方法是运用加热带,加热带的外面再用铝箔包裹,避免热量散失的同时也可使腔体均匀受热。