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2019-12-24

真空腔体的加热方法分为内加热和外加热两种,外加热是在腔体外部加热,依托腔体壁将热量传导进来,通过热辐射传递热量;内加热是直接在真空腔体内部进行加热,相比内加热方法,外加热有滞后性,且内加热方法的控温精度相对于外加热来说更准确,所以一般情况下我们会选择内加热方法.

加热器的选择也非常重要,一般选用装置方便的扣板式加热板进行内加热.扣板式加热板的外表是镜面的不锈钢板,在平整度上比直接由真空腔体壁抛光更有优势,更利于进行热辐射传导热量.

一般真空腔体内部是规矩的长方体,用一面加热进行热辐射的方法热传导不能合理涵盖整个腔体的内部空间,所以作用不是很抱负,.通过实验证明,采取在真空腔体内正上方、正下方、左旁边面、右旁边面各装置一套加热板加热的方法,选用面对面热辐射方法对腔体内部进行加热.

因为设备在真空状态下选用了上,下,左,右四面四路加热的方法,比单纯一路加热就要杂乱多了,这也是温度控制的难点.因此选用PID来进行温度控制调节,控温热偶设置在腔体内部,这样可以更好地控制真空腔体内的温度.

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